Überwachung der Werkzeugmaschinen in der Halbleiterfertigung
Um das geplante Produktivitätsniveau zu erreichen, ist es von wesentlicher Bedeutung, sicherzustellen, dass die Ausstattung, die zur Fertigung nötig ist, für die Wartung sichergestellt ist. Mithilfe von Produkten zur Maschinenüberwachung ist es möglich, den aktuellen Zustand der verschiedenen Maschinenelemente aufgrund der Position installierter Sensoren durchgehend zu überwachen. Wartungsarbeiten sind erst dann fällig, wenn eine Warnung auftritt, dass ein Maschinenelement bald ausfallen wird.
Bei Zusammenstößen bzw. Kollisionen entsteht kein direkter Schaden durch die Kollision selbst, denn die Vorrichtungen zur Maschinenüberwachung erfassen sie sofort und stoppen weitere Bewegungen. Dadurch retten sie vor Schäden und ungeplanten Stillstandszeiten.
