Monitorización de las herramientas de mecanizado para la fabricación de semiconductores

Para asegurar que se alcanzan los niveles de productividad, es crucial mantener la disponibilidad del equipo de producción con las actividades de mantenimiento. Usando productos de monitorización de la máquina, el estado de los elementos de esta, basado en las posiciones de los sensores instalados, ofrece la posibilidad de seguir el estado de salud en curso. Las actividades de mantenimiento deben comenzar solo cuando se genera una advertencia provocada por un fallo de un elemento de la máquina.

Durante los eventos de colisión, el daño no está provocado por la colisión inmediata dado que los productos de protección de la máquina detectan este punto inicial y detienen la progresión del movimiento, evitando roturas y paradas no planificadas.

Monitoring of the machine tools for semiconductor manufacturing

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DESCRIPCIÓN

Los sensores Marposs pueden detectar la rotura del hilo diamantado en las máquinas de corte de lingote, monitorizar la rectificación de rueda en las máquinas de afilado o comprobar las vibraciones durante las operaciones de lapeado. Los sistemas Marposs realizan la tarea de analizar, proteger y optimizar los procesos de producción.

Además, una detección temprana de los daños en los cojinetes es esencial para mantener las vibraciones de la máquina y el husillo bajo control, reducir los costes consecuenciales y mejorar la calidad. Esto puede conseguirse con una evaluación precisa de las señales del sensor (vibración, temperatura y gravedad opcional). Los límites de alarma pueden fijarse de manera individual, y si se superan o no se alcanzan, puede llevarse a cabo de manera rápida una reacción definida.

VENTAJAS

Los sistemas de monitorización de máquina Artis detectan de manera fiable las anomalías por vibración
Los sensores de vibración miden las condiciones del cojinete del husillo y el eje
Fácil integración en máquinas herramienta, equipos o robots nuevos o existentes, independiente del tipo de control de máquina
El sistema puede funcionar permanentemente en segundo plano. Solo se necesita la intervención del operador en caso de alarma
El grabador de eventos (caja negra) registra de manera fiable los eventos de alarma (fecha, hora y valores), y la información almacenada puede utilizarse para una ulterior evaluación y análisis
Los datos del sensor y los datos sobre el evento pueden exportarse a un archivo CSV
Reducción de los tiempos de paro no planificados y los costes derivados de los mismos ya que los componentes gastados pueden sustituirse en una etapa temprana (mantenimiento predictivo)

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