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Surveillance de machines-outils pour fabrication de semi-conducteurs

Afin de garantir l’atteinte de niveaux de productivité, il est capital de conserver la disponibilité des équipements de production par le biais d’activités d’entretien. En utilisant des produits de surveillance, l’état des éléments de la machine, à partir des positions des capteurs installés, permet de suivre en continu l’état de santé. Les activités d’entretien ne doivent commencer qu’en cas d’alerte provoquée par la défaillance d’un élément de la machine.

Lors de phénomènes de collision, le dommage n’est pas dû au heurt immédiat puisque les produits de protection de la machine détectent ce point initial et stoppent la progression du mouvement, en évitant les ruptures et les temps d’arrêt intempestifs.

Monitoring of the machine tools for semiconductor manufacturing
DESCRIPTION

Les capteurs Marposs détectent les ruptures de fil de diamant sur les trancheuses de lingots, surveillent le dressage de la meule sur les rectifieuses, ou contrôlent les vibrations lors des opérations de rodage. Les systèmes Marposs assurent l’analyse, la préservation et l’optimisation des procédés de fabrication.

De plus, la détection précoce de dommages des roulements est essentielle pour tenir les vibrations de la machine et du mandrin sous contrôle, donc pour réduire les coûts et améliorer la qualité. Une évaluation précise des signaux du capteur (vibration, température et gravité en option) peut être la solution. Des limites d’alarme peuvent être définies individuellement, et en cas de sortie de ces limites, des mesures en conséquence peuvent être prises rapidement

AVANTAGES
  • Les systèmes de surveillance de machine Artis détectent de façon fiable les anomalies de vibration
  • Les capteurs de vibration mesurent les conditions du mandrin et des axes.
  • Intégration facile aux machines-outils, équipement ou robots existants ou nouveaux, quel que soit le type d'unité de commande de la machine
  • Le système peut tourner en permanence en arrière-plan. L’intervention de l’opérateur n’est nécessaire qu’en cas d’alarme
  • L'enregistreur d'évènements (blackbox) enregistre de façon fiable l'alarme (date, heure et valeurs) et les informations mémorisées pourront être utilisées pour une évaluation et analyse ultérieures
  • Les données du capteur et les informations sur l'évènement peuvent être exportées sous forme de fichier CSV
  • Les temps d'interruption et les coûts non programmés se réduisent puisque les composants usagés peuvent être remplacés de façon précoce (entretien prédictif)
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BROCHURES AND MANUALS

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