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Messung Der Foliendicke Beim Rolle-Zu-Rolle-Verfahren

Im Bereich elektronischer Geräte bezeichnet das Rolle-zu-Rolle-Verfahren (R2R) eine Methode zur Herstellung flexibler und großflächiger elektronischer Bauteile auf einer Bahn bzw. Rolle aus Kunststoff- oder Metallfolie.

R2R ist eine Reihe von Fertigungstechniken, die die ständige Verarbeitung eines flexiblen Substrats beinhalten, das zwischen zwei beweglichen Rollen aus einem bestimmten Materials übertragen wird. Additivverfahren werden genutzt, um durchgehend eine bestimmte Folienstruktur aufzubauen.

R2R ist ein wichtiger Bestandteil der Herstellungsverfahren auf der Grundlage von Substraten, die in zahlreichen Bereichen wie etwa folgenden genutzt werden:

  • Gedruckte/flexible Dünnfilmbatterien
  • Flexible und großflächige elektronische Bauteile
  • Flexible Solarpaneele
  • Herstellung von Metallfolien und -blechen
  • Medizinische Produkte
  • Brennstoffzellen - laminare Festoxid-Brennstoffzellen (SOFC), PEM-Brennstoffzellen, Membran-Elektrodenbaugruppen und Gasdiffusionsanlagen (GDL).
Film Thickness Measurement In R2r Process
BESCHREIBUNG

Die aktuelle Notwendigkeit, zur Herstellung flexibler Dünnfilmbatterien oder von PEM-Komponenten Rolle-zu-Rolle-Verfahren anzuwenden, beruht auf folgenden Überlegungen:

  • Senkung zu hoher Abfallraten bei Elektrodenbeschichtungen
  • Qualitätsmessung und -kontrolle in der Fertigungslinie, zum Beispiel mit berührungslosen Sensoren zur Dickenüberwachung

Die Dickenüberwachung muss unbedingt innerhalb der Fertigungslinie erfolgen. Dafür eignen sich berührungslose Technologien am besten.

Um die Dickenmessung innerhalb der Fertigungslinie an einem empfindlichen Material auszuführen, das nicht berührt werden darf und somit nicht mit den herkömmlichen taktilen Lösungen gemessen werden kann, bietet Marposs seine eigenen berührungslosen Technologien. Es sind folgende:

  • Chromatisch-konfokale Messung
  • Interferometrie

Diese beiden Technologien garantieren höchste Messgenauigkeit, sogar bei dünnen, nicht transparenten Schichten.

Die Verwendung einer Messgabel mit zwei Sensoren ermöglicht die gleichzeitige Messung der Gesamtdicke der Batterie-Elektroden und der Dicke der verschiedenen Materialschichten.

Spezielle Messlösungen zur Messung der Dicke an mehreren Stellen können angeboten werden.

NUTZEN
  • Berührungslose Technologie zur Messung weicher und undurchsichtiger Materialien
  • Messfähigkeit von Schichtendicken ab 5 µm
  • Großer Messbereich für echte Inline-Anwendungen
  • Hohe Empfindlichkeit und Genauigkeit
  • Möglichkeit des Angebots von Messrachen oder kompletten Messausrüstungen
  • Durch die Quick-SPC-Software-Option stehen statistische Verarbeitung und Datenübertragung zur Verfügung
VERSIONEN
  • Basiskonfiguration mit 1 Messrachen, der Folgendes beinhaltet:
    • 2 chromatisch-konfokale Messsensoren und IRIX-Messgeräte oder
    • 2 interferometrische Sensoren und NCG-Messgeräte
  • Möglichkeit zur Bestellung von Industrierechnern E9066 mit QSPC-Software zur Verarbeitung der Messwerte, statischen Auswertung und Datenübertragung
  • Kundenspezifische Messlösungen zur Prüfung an mehreren Stellen sind möglich
TECHNISCHE DATEN

• Messung von Folienschichten ab 5 µm Dicke

• Wiederholbarkeitsbereich für die Gesamtdicke innerhalb von 1 µm in der Praxisanwendung

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