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R2R工艺中的膜厚测量

在电子产品领域,Roll-to-Roll(R2R)加工是一种在塑料薄膜或金属箔卷上生产柔性和大面积电子产品的方法。

R2R是一整套制造技术,涉及对柔性基材的连续加工处理,该基材在两个转动的滚筒之间移动,连续生成薄膜结构。

R2R是重要的基材制造工艺,被用于许多制造领域,例如:

  • 印刷/柔性含隔离膜的电池
  • 柔性和大面积电子产品
  • 柔性太阳能板
  • 金属箔和薄板制造
  • 医疗产品
  • 燃料电池——层状固体氧化物燃料电池(SOFC)、质子交换膜(PEM)、膜电极组件和气体扩散层(GDL)。
Film Thickness Measurement In R2r Process
描述

当前在柔性含隔离膜的电池制造或质子交换膜组件中采用R2R工艺的需求集中在以下方面:

  • 减少极片涂层的过高的报废率
  • 在线质量测量和控制,例如用于厚度监测的非接触式传感器

厚度监测必须在量产线内进行,因此必须使用非接触式方案进行。

为了对传统接触式测量方案无法触摸和测量的精密材料进行在线厚度测量,马波斯开发了非接触式技术,这些技术是:

  • 光谱共焦
  • 干涉测量

即使对于薄的非透明层,这两种技术也能够最大地保证测量的准确度。

使用带有两个传感器的测量技术,可以同时测量电池极片的总厚度和不同材料层的厚度。

也可以开发定制的测量方案用于测量多个位置的厚度。

 

优势
  • 非接触技术:用于测量柔软且不透明的材料
  • 能够测量厚度低至5 µm的塑料层
  • 适用于量产在线测量的宽量程
  • 高灵敏度和准确度
  • 可以提供测量捕捉(快照技术)和整套夹具
  • 带有Quick-SPC软件选件,可用于详细信息统计和数据传输
版本
  • 带有1个测量快照设备的基本配置如下:
    • 2个共焦传感器和IRIX控制器;或
    • 2个干涉型传感器和NCG控制器
  • 带有QSPC软件的E9066工控机选件:用于测量详细说明、统计详细说明和数据传输

    定制化测量解决方案用于在产品多个位置进行测量

技术规格
  • 测得的薄膜层厚度可低至5 µm
  • 实际测试中重复性在1 µm以内
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