R2R工程における膜厚測定

現在、フレキシブル薄膜バッテリーの製造またはPEMコンポーネントにR2R工程を使用するニーズがあり、主に以下の点がフォーカスされています。

• 電極コーティングの不良率の低減
• 厚さ監視用の非接触型センサーの例としてのインライン品質測定と管理

厚さ監視は完全に生産ライン内で行う必要があるため、非接触型で行う必要があります。

触れることができず、従来の接触型では測定できない繊細な材料に対して厚さのインライン測定を行うために、マーポスでは以下のような独自の非接触型を提案しています。

• 色収差共焦点
• 干渉法

この2つの技術により、薄い非透明層の場合でも、非常に高い測定精度が保証されます。

2つのセンサーとスナップを使用すれば、バッテリー電極全体の厚さと異なる材料層の厚さを同時に測定できます。

複数の箇所で厚さを測定するために、特別なゲージングアプリケーションをご提案できます。