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R2R 공정에서의 필름 두께 측정

전자기기 제조 분야에서 R2R(Roll-to-Roll) 공정플라스틱 필름이나 금속 포일 상에 유연하고 넓은 면적의 전자 부품을 생산하는 기법입니다.

R2R은 두 개의 움직이는 소재 롤 사이에서 전달되는 유연한 소재를 연속적으로 처리 하는  제조 기법으로서, 적층 공정을 사용하여 연속적인 방식으로 필름 구조를 제작할 수 있습니다.

R2R은 다음과 같은 다양한 제조 분야에 적용되는 중요한 기질 기반 제조 공정입니다:

  • 배터리 박막 부품
  • 유연하고 넓은 면적의 전자 부품
  • 태양광 패널
  • 금속 포일 및 시트제조
  • 의료 부품
  • 연료 전지 – 고체산화물 연료전지(SOFC), 수소이온교환막(PEM), 막 전극 접합체 와 가스 확산층(GDL).
Film Thickness Measurement In R2r Process
설명

현재 플렉시블 박막 배터리 또는 PEM 부품의 제조에 R2R 공정을 적용해야 하는 필요성은 특히 다음과 같습니다:

  • 전극 코팅의 과도한 스크랩 비율 감소
  • 두께 모니터링을 위한 비접촉 센서 등 인라인 측정 및 품질 관리

두께 모니터링은 생산 라인 내에서 비접촉 기술로 엄격하게 수행 되어야 합니다.

기존의 접촉식 솔루션으로 측정 할 수 없는 연질의 소재 두께를 인라인 에서 측정하기 위하여 마르포스는 다음과 같은 비접촉 기술을 제안합니다:

  • 공초점(Chromatic confocal)
  • 간섭계(Interferometry)

이 두 가지 기술은 얇은 불투명 레이어에서도 최상의 측정 정밀도를 보장 할 수 있습니다.

두개의 센서와 스냅 픽스쳐를 사용하면 배터리 전극의 전체 두께와 다양한 레이어의 두께를 동시에 측정 할 수 있습니다.

또한 여러 위치에서 두께를 측정하기 위하여 특수한 측정 어플리케이션도 공급 가능합니다.

장점
  • 연질의 불투명 소재의 측정을 위한 비접촉 기술
  • 5 µm 이상의 레이어 두께 측정 가능
  • 실제 인라인 애플리케이션을 위한 광범위한 측정 범위
  • 높은 정밀도와 분해능
  • 측정 스냅 또는 전체 측정 장비 공급 가능
  • Quick-SPC 소프트웨어 옵션으로 통계 처리 및 데이터 전송이 가능
버전
  • 1 개의 측정 스냅의 기본 구성 :
    • 2개의 공초점 센서 및 IRIX 컨트롤러
    • 2개의 간섭계 센서 및 NCG 컨트롤러
  • 측정 데이터 계산, 통계 처리 및 데이터 전송을 위한 QSPC 소프트웨어가 포함 된 E9066 산업용 PC 옵션
  • 복수의 위치에서 측정하기 위한 맞춤형 측정 솔루션 공급 가능
기술 사양

• 5 µm 이상의 필름 두께 측정 가능

       • 실제 어플리케이션 적용시 전체 두께에 대하여 1µm 미만의 반복정밀도

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