ウェハー計測機械

マーポスおよびSTILセンサーは、厚み、TTV、曲がり、反りの測定から、全2D画像や3Dトポグラフィーまで、幅広いアプリケーションに対応しています。

クロマティックコンフォーカル技術は、高精度な隆起測定を行うために最適化されたソリューションです。光学ペンは、動作距離、測定範囲、スポットサイズ、開口数など、アプリケーション要件により適したものを提供できます。透明/不透明材料の厚さを高精度で測定できる干渉計製品（赤外光と白色光）も用意されています。

ラインセンサーにより3D画像処理も可能になります。深い被写界深度と高い開口数の利点をは維持したまま、定義されたライン長さにおける同軸取得が高い測定周波数で行うことができます。、

このタイプのセンサーはいずれも、計測/検査機械の中に組み込むことができます。マーポスとSTILの数十年にわたる経験が、カスタマイズされたソリューションと専用の光学設計に活かされています。