DESCRIPTION
Les capteurs Marposs et STIL couvrent de nombreuses applications, à partir des mesures d’épaisseur, TTV, de cintrage et de voile jusqu’à la topographie d'image 2D et 3D.
La technologie confocale chromatique est la solution optimisée pour produire des mesures de bosses à haute précision. Les stylos optiques permettent une distance de travail, une plage de mesure, des tailles de point et des ouvertures numériques différentes pour mieux répondre aux exigences de l’application. Les produits interférométriques (lumière infrarouge et blanche) sont aussi capables de détecter l’épaisseur de matériaux transparents et autres, en réalisant des mesures très précises.
Les capteurs linéaires permettent aussi une imagerie en 3D : une acquisition coaxiale sur une longueur de ligne définie est réalisée à haute fréquence tout en conservant l’avantage d’une grande profondeur de focalisation et une haute ouverture numérique.
Tous ces types de capteurs peut être intégrés aux équipements de métrologie et d’inspection. La très longue expérience de Marposs et STIL est mise à disposition pour une solution personnalisée et une conception optique dédiée.
AVANTAGES
- Résolution latérale < 1μm
- Angle d'inclinaison élevé : +/-45° avec NA de 0.75
- Jusqu’à 360 000 points mesurés par seconde avec une précision sous-micrométrique et résolution nanométrique dans l’axe Z
- Mesure de bosses à l’aide de capteurs CLMG / EVEREST
- La position des points de mesure peut être sur une ligne ou définie par le client
- Profondeur de champ étendue (de parfaite focalisation)
