ウェハー欠陥の検出

検出用顕微鏡用として、2Dクロマティックコンフォーカルラインカメラも用意されています。超高解像度と深い被写界深度が必要なアプリケーションでは、Z軸方向に完璧なフォーカスが得られます。このような性能から、このラインカメラはウェハーエッジやパッケージング工程などの欠陥検査に最適なソリューションとなっています。このタイプのセンサーはいずれも、計測/検査機械の中に組み込むことができます。マーポスとSTILの数十年にわたる経験が、カスタマイズされたソリューションや専用の光学設計に活かされています。