用于晶圆加工的传感器
马波斯设计和生产不同类型的传感器，旨在帮助用户提高设备可靠性，以保持生产稳定且高质量运行。这些传感器可在设备内正常工作，通过专用的信号处理装置，可快速检测设备运行过程中的异常情况或变化。以下是马波斯产品的一些具体应用案例。
马波斯和 STIL 传感器应用广泛，包括测量厚度、总厚度偏差（TTV）、弯曲度（BOW）、翘曲度（WARP）以及完整的2D图像和3D微观轮廓。
点光谱传感器
光谱共聚焦技术适用于不同类型的精密测量。点光笔的类型丰富，有不同的工作距离、测量范围、光斑直径以及数值孔径规格可供选择。马波斯也提供干涉测量仪（红外光和白光），可检测透明和非透明材料，精确测量材料厚度。
