描述
马波斯研发生产的破刀侦测(VBI)方案彻底改写了晶圆划片过程,精度和可靠性更高,并可在划片中连续监控切割刀的划片操作,确保划片质量稳定如一并达到更低废品率。先进的监控技术可实时测量切割刀的磨损和刀形,减少废品并可无缝集成在现有生产流程中。
.划片操作在多个方面与切割刀监控传感器密切相关。
感器检查切割刀位置(NCS),确保切割刀相对晶圆的位置正确,避免位置误差造成芯片缺陷。马波斯监控方案速度更快,重复精度也非常高。划片过程中,实时分析传感器所采集的数据,检测切割刀破损(BBD),提高划片质量和划片操作的整体效率。此传感器还可监控切割刀的磨损程度并报告给操作员或激活自动换刀系统。
马波斯的这款产品包含一个控制器,该控制器可同时连接两个传感器,且传感器的功能可相同,也可不同。
优势
- 高级监控:高过程可靠性
- NCS循环:高定位速度和高重复精度
- 高采样速度:连续、快速采集图像,实时监控
- 高级BBD算法:过滤冷却液,快速检测切割刀破损,减少误报
- 高质量传输信号:无光纤器件,抗干扰性能优异
- 更短非生产性时间:监测范围达1.8 mm,定位时间更短,生产效率更高
- 易于集成:轻松集成在划片机上,无需繁杂改造
- 配置简单明了:在内置的Web Server上轻松编程
- 高级功能:根据环境照明条件自动设置传感器