锭材切片(硅锭,蓝宝石锭,碳化硅锭,氮化镓锭)是芯片制造的第一步。高速线锯将锭材切成“晶圆”,然后打磨,使晶圆达到镜面光洁度。锭材切片中,如果金刚石线断线,必须立即停止切片机。
锭材缓慢下降并被线锯切成圆晶片,这个过程长达数小时。 用更细的金刚石线线锯切片是未来趋势,可最大限度减小锯缝宽度,让单个锭材产出更多晶圆,显著提高生产速度。 如果在锭材线锯过程中,金刚石线断线,必须立即停止切片机运动。 马波斯的声发射传感器可集成在锭材切片机内,一旦断线可被立即检测到并立即停止切片机运动,然后,轻松进行后续换线。
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