마르포스(Marposs)는 기계의 신뢰성을 향상시키고 안정적이며 고품질의 생산을 보장하는 다양한 센서를 제공합니다. 이러한 센서는 기계 내부에서 작동하도록 설계되었으며, 신호 처리 시스템을 통해 기계 환경의 이벤트나 변화를 즉시 감지합니다. 다음은 Marposs 솔루션이 적용되는 구체적인 사례입니다.
잉곳 절단 공정 중, 다이아몬드 와이어가 끊어지는 경우 기계를 즉시 멈추는 것이 중요합니다. Marposs의 음향 센서는 와이어 파손을 감지하고 즉시 기계를 정지시킬 수 있습니다.
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이 공정은 특히 중요합니다. 웨이퍼의 전체 두께 변화를 엄격히 관리해야 합니다. Marposs의 적외선 센서를 통해 이 중요한 공정간 혹은 공정 직후에 두께를 제어할 수 있습니다.
웨이퍼를 얇게 가공하는 공정은 굉장히 섬세한 공정입니다. 웨이퍼에는 이미 칩이 형성되어 있으며, 공정 중 오류가 발생하면 생산 수율과 비용에 영향을 미칩니다. DI (탈이온) 수를 사용하는 조건에서도 접촉식 또는 비접촉식 게이지를 사용하여 얇게 가공하는 공정을 엄격히 제어할 수 있습니다.
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효과적인 모니터링 시스템이 없으면 생산에 심각한 영향을 미칠 수 있습니다. 예를 들어, 블레이드 마모로 인해 상당한 불량이 발생하거나 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 다이싱 공정에서는 블레이드를 모니터링하는 센서 관점에서 여러 중요한 요소가 포함됩니다.
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Marposs 및 STIL 센서는 두께, TTV, Bow, Warpage 측정부터 완전한 2D 이미지 및 3D 프로파일 획득 까지 광범위한 응용 분야에 적용 가능합니다.
포인트 센서
크로매틱 공초점 기술은 초정밀 측정을 위한 최적의 솔루션입니다.
옵티컬 헤드는 작동 거리, 측정 범위, 스폿 사이즈, 개구수(NA)등 폭 넓은 사양으로 제공 가능하며, 투명 및 불투명 소재의 초정밀 두께 측정을 위한 간섭계 (IR 및 백색광) 센서도 제공 가능합니다.
현미경
현미경 검사와 같이, 매우 높은 해상도와 심도가 필요한 어플리케이션에 완벽한 Z축 포커싱을 제공하는 2D 크로매틱 공초점 라인 카메라가 적용 가능하며, 2D 이미지를 획득하기 위해서 X-Y축 스캔 시스템이 필요합니다.
