장점
- 고속 검사
- 유연성
- 부드러운 표면 검사 가능
- 접촉식 기술이 측정할 수 없는 기하학적 특징 검사 가능
설명
마르포스는 비접촉식 장비에 네 가지 광학 기술을 사용합니다.
- 새도우 캐스트: 측정 대상 제품의 가장자리 그림자를 정밀하게 정렬된 광선을 통해 선형 포토다이오드 어레이(CCD)에 투사합니다. Dark-to-light와 light-to-dark 전환이 CCD 센서에 있습니다. CCD 신호는 전자적으로 읽히고, 서브픽셀 해상도를 가진 알고리즘으로 처리되고, 그림자 부분의 치수로 연계됩니다.
- 반사광 측정: 광학 전자 장치에 확산 광선을 대상에 발사하는 광섬유 프로브가 있습니다. 대상은 광선을 프로브로 반사합니다. 프로브는 반사 광선을 두 가지 채널을 통해 두 포토다이오드로 전송합니다. 두 포토다이오드가 감지한 신호 강도는 표면 거리와 두 채널 내부 광섬유 배치에 따릅니다. 적절한 전자 처리로 프로브부터 표면까지 거리를 측정할 수 있습니다.
- 간섭계: 광섬유 프로브를 가진 광학 전자 장치가 대상에 집속 광선을 발사합니다. 대상은 광선을 프로브로 반사합니다. 프로브는 동일한 광섬유를 통해 반사광을 분광기로 보냅니다. 이 반사광은 입사광이 도달할 수 있는 대상의 외부 표면과 대상 내부 레이어에서 나온 상호 간섭광으로 이루어져 있습니다. 적절한 전자 처리로 대상의 레이어 간 두께를 측정하거나 가능한 경우 프로브부터 외부 표면까지 거리와 대상의 레이어 간 표면까지 거리를 측정할 수 있습니다.
- 공초점: 광학 전자 장치가 대상에 색수차 광선을 발사합니다. 대상은 광선을 프로브로 반사합니다. 프로브는 동일한 광섬유를 통해 반사광을 분광기로 보냅니다. 이 반사광은 입사광이 도달할 수 있는 대상의 외부 표면과 대상 내부 레이어에서 나온 광선으로 이루어져 있습니다. 반사광 강도는 표면에 집속된 파장에 대해 최대가 됩니다. 적절한 전자 처리로 대상의 레이어 간 두께를 측정하거나 프로브부터 외부 표면까지 거리와 대상의 레이어 간 표면까지 거리를 측정할 수 있습니다.
마르포스는 또한 와전류 기술을 사용하여 비접촉식 변위 측정을 합니다.
- 전동 코일의 일차 시간 변화 자기장이 그 앞에 놓인 대상의 도체 내부에 전류를 유도하여 이차 시간 변화 자기장을 만듭니다. 전용 회로가 일차 자기장과 이차 자기장 사이의 상호 작용을 해석하여 코일과 대상 사이의 거리와 관련된 전기 신호를 제공합니다.
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