ナノレイヤー膜厚測定用非接触ゲージ

NCGRは、反射率測定技術に基づいた膜厚測定ゲージです。異なる表面の層境界で反射された光波は、多層構造と各層の厚さに応じて異なる波形を生成します。多層構造を設定することで、システムは数ナノメートルを下限とする範囲で対象層の厚さを認識できます。

かつて、ナノメートル単位の膜厚測定は、ほぼ機械加工工程の下流工程で行われていました。しかし今日では、工作機械の制御技術の向上により、このような極めて高精度な測定を製造工程で直接行うことができます。マーポスは長年の経験に基づき、対象物の加工工程で使用するための専用プローブとソフトウェアを開発してきました。