나노레이어 두께측정을 위한 비접촉 게이지

마르포스 NCGR은 반사계 측정(reflectometric) 기술을 기반으로 두께를 측정하는 게이지입니다. 서로 다른 표면의 경계면에서 반사되는 광파는 다층 구조 스택과 각 레이어의 두께에 따라 서로 다른 파형을 생성합니다. 다층 구성에 대한 학습이 완료되면, 이 시스템은 수 나노미터 수준의 하한을 갖는 범위 내에서 대상 레이어의 두께를 인식할 수 있습니다.

과거에는 나노미터 수준의 두께 측정이 가공 공정이 모두 끝난 후(후공정)에 거의 전적으로 이루어졌습니다. 하지만 오늘날에는 공작기계 제어 기술의 발전 덕분에 이처럼 매우 정밀한 측정을 생산 단계 현장에서 즉시 수행할 수 있게 되었습니다. 마르포스는 수십 년간 축적된 경험을 바탕으로 목표 가공 프로세스 중에 직접 사용할 수 있는 전용 프로브와 소프트웨어를 개발했습니다.