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非接触式厚さ測定

STILクロマティックコンフォーカルセンサーは、透過性または段差および対面(フェイスツーフェイス)によって、非接触で厚さを測定するように設計されており、インラインの産業やラボなどのあらゆる環境を対象にしています。

その原理は、屈折率の異なる2つの面の境界面であるジオプトリーの位置を測定し、同時に別のジオプトリーの位置も測定することによります。

2つの距離測定値の差は、光学的な厚さの測定値を示しており、そこから機械的な厚さが推測されます。

複数の層を含んでいるサンプルの測定も、同じ方法を使うことで可能になります。一部のSTILコントローラーでマルチレイヤー測定ソフトウェアを利用できます。

非接触式厚さ測定
利点
  • 軸方向の高い分解能:ナノメートルスケールから(nm)
  • 横方向の高い分解能:マイクロメートルスケールから(µm)
  • 受動部品のみで構成される光学ヘッド
  • 高い信号/ノイズ(S/N)比
  • 黒いカーボン、ガラス、カラーまたは白色セラミック/プラスチック、粗い/研磨済みの金属など、幅広い素材に適応
  • 幅広い測定範囲の選択
  • 大きな開口数(NA)による急な傾斜への適合
  • 同軸(影の影響を受けない)
  • «干渉ノイズ»なし
詳細

STILセンサーには、1点測定の製品から、ライン上、またはフィールド内に配置した複数の測定点で構成された製品があります。

ChromaPoint光学ヘッドは交換式なので、あらゆるアプリケーションや、透明/不透明/拡散/光沢などのあらゆる表面反射率に対する、高い柔軟性、信頼性、適応性が保証されます。

ガラスのような透明なサンプルの場合、屈折率n=1.5の面を通る経路を基準として、最小厚みの測定値および仕様がデータシートの中に示されています。

同様に、ガラスなどの透明なサンプルの最大厚みは、屈折率に従うものとします。

ダウンロード

BROCHURES AND MANUALS

パンフレット データーシート
英語 STIL - General catalogue: (13.23MB)
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日本語 STIL - General catalogue: (21.22MB)
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中国語 (Simplified Chinese) STIL - General catalogue: (18.78MB)
STIL - General catalogue: (18.78MB)
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