설명
Horizon은 반도체, 3C(컴퓨터, 통신, 가전) 및 기타 고정밀 산업의 까다로운 정밀 측정 요구를 충족하도록 설계된 차세대 간섭계 컨트롤러입니다.
최첨단 기술과 장기적인 안정성을 결합한 Horizon은 나노미터 수준의 탁월한 정확도를 보장합니다. 인라인 생산 공정 제어부터 실험실 치수 검사까지, 가장 까다로운 어플리케이션에서도 높은 신뢰성과 성능을 제공합니다.
Horizon은 정밀 측정이 공정 최적화, 폐기물 감소, 품질 개선에 핵심적인 산업을 위해 설계되었습니다. 반도체 산업에서 Horizon은 생산 중 웨이퍼의 정밀한 위치 제어, 최적의 평탄도 유지, 리소그래피 마스크의 고정밀 정렬을 통해 중요한 역할을 수행합니다. 이러한 기능은 고성능과 소형화를 요구하는 현대 반도체 제조에 필수적입니다.
3C 산업에서는 전자 부품 및 장치의 테스트와 검사에 있어 Horizon이 강력한 솔루션을 제공합니다. 마이크로칩의 신뢰성 확보부터 소비자 전자제품의 구조적 완전성 검증에 이르기까지, Horizon의 고급 측정 성능은 첨단 제품의 일관된 품질과 내구성 확보에 기여합니다.
장점
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탁원할 정밀도: 간섭계 기술을 통해 나노미터 수준의 초정밀 측정이 가능하여, 뛰어난 품질 관리를 보장합니다.
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다양한 제품 구성: Horizon은 다양한 파장 및 센서 조합을 제공하여, 소재, 부품 유형, 적용 분야에 따라 최적의 성능을 구현할 수 있습니다.
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산업용 신뢰성: 혹독한 환경에서도 안정적으로 작동하도록 설계되어, 가장 높은 산업 표준을 충족하며 일관된 성능을 장기간 유지합니다.
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손쉬운 시스템 통합: 다양한 I/O 및 통신 인터페이스를 통해 기존 또는 차세대 생산 라인에 FieldBus 기술로 간편하게 통합됩니다.
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다점 동기화 측정: 최대 3개의 엔코더를 동기화하여 정밀한 측정 및 동적 데이터 수집이 가능하며, 복잡한 측정이 필요한 어플리케이션의 경우 여러 대의 Horizon을 MASTER-SLAVE 네트워크로 구성하여 활용할 수 있습니다.
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포괄적인 소프트웨어 패키지:
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MIC Tool: 다양한 소재와 형상에 최적화된 파라미터 설정을 위한 현대적인 설정 도구.
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SDK Tool: OEM 및 픽스쳐 제작업체를 위한 타사 소프트웨어 통합에 적합한 개발 도구.
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Marposs Quick SPC™ for Windows®: 직관적인 사용자 인터페이스와 산업별 특화 애드온을 갖춘 공정 및 품질 관리용 통계 소프트웨어.
기술 사양
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측정 기술: 나노미터 정밀도의 간섭계 방식
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측정 해상도: 최대 나노미터 수준
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센서 호환성: 다양한 어플리케이션 및 소재에 적합한 폭넓은 센서 지원
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인터페이스 및 연결성:
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다점 측정 기능: 최대 3개의 엔코더를 지원하여 동적인 인라인 데이터 수집 가능
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동기화 시스템: 복잡한 측정 환경을 위한 MASTER-SLAVE 네트워크 구성 가능
