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新一代干涉控制器

HORIZON

Horizon干涉测厚控制器应用广泛,可优化工艺、减少浪费和提高质量。马波斯新一代干涉测量技术可有效提高精密测量能力。

新一代干涉控制器
描述

新一代Horizon干涉控制器可满足半导体、3C(计算机、通信和消费电子)等行业的精密测量要求。Horizon以前沿的技术和长期的高稳定性,确保实现高精度的纳米级厚度测量。无论是在线生产控制还是实验室尺寸检测,Horizon产品都可以在严苛应用中提供可靠和优异的表现。

Horizon应用广泛,可满足许多行业有关工艺优化、降本增效和质量提升所需精密测量的要求。在半导体行业,Horizon干涉控制器不可或缺,在生产中可实现晶圆精密定位、平面度控制、光刻掩模精密找正。这些能力是现代化半导体生产实现高性能和微型化的有效保证。

3C行业,Horizon是一款功能强大的检测方案,可测量和测试电子器件和设备。其广泛的用途包括从确保微芯片的可靠性到消费电子结构完整性,Horizon杰出的测量功能确保高科技产品始终如一的高质量和耐用性。

优势
  • 超精密:干涉技术测量精度高达纳米级,是严格控制质量的有效手段

  • 高柔性产品:Horizon支持不同的波长与传感器组合,确保在不同材料、工件类型和应用的检测中达到高性能。

  • 工业级可靠性:Horizon控制器支持严苛的生产环境,严格遵守行业的高标准,确保实现长久一致的高性能。
  • 无缝集成:Horizon控制器设有多个I/O接口和通信接口,通过现场总线可轻松连接现有产线和新一代产线。

  • 同步多点测量:支持多达三个编码器,进行同步测量和动态数据收集。如果需要多个测量点的复杂应用,Horizon控制器可以主从同步的模式部署。

  • 全面的软件套件:

    • MIC工具:现代化的参数设置配置器,优化的设计支持不同的材料和几何形状。

    • SDK工具:这是第三方软件集成的理想工具,也是OEM和夹具制造商的首选工具。

    • 马波斯Windows®版Quick SPC™:工艺和质量控制套件有着直观易用的用户界面,为不同行业提供专用组件。

技术规格
  • 测量技术:纳米级精度的干涉测量

  • 测量分辨率:高达纳米级

  • 传感器兼容性:可针对特定应用和材料,在丰富的传感器中选择所需产品
  • 接口和可连接性:

    • 模拟输出

    • 现代化的数字接口,无缝进行系统集成

    • 现场总线就绪,支持工业4.0应用

  • 多点测量:支持多达三个编码器,动态在线采集测量数据

  • 同步系统:主从网络功能,支持复杂测量方案

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BROCHURES AND MANUALS

产品资料 传单
英语 HORIZON: (7.07MB)
HORIZON: (3.47MB)
中文 (Simplified Chinese) HORIZON: (4.18MB)
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