描述
马波斯STIL的CL-MG系列点光谱测头包括多款光学镜头（CL1至CL6）及配套的六款专用透镜（MG420至MG20），可在大量应用中进行高性能测量（可达纳米级）。
1995年以来，由无源器件组成的CL-MG系列点光谱测头始终是高质量标准的代表，设计坚固，工作可靠，在工业和实验室中都获得了广泛应用，包括在特定应用环境下，例如真空箱、放射性、高温等环境。
CL-MG点光谱测头的FOLD版以90度的径向光束进行测量，可连接STIL点光谱控制器，包括CCS系列、ZENITH、LIGHTMASTER或MARPOSS IRIX，测量应用广泛，支持不同类型的反射表面，例如透明或非透明表面，镜面或漫反射表面。
优势
• 专用于工业环境，不受环境光影响
• 高轴向分辨率：纳米级
• 高横向分辨率：微米级
• 高信噪比
• 支持不同类型样品
• 测量范围大
• 大数值孔径，可在大斜面上测量
• 同轴：无阴影效应
• 无« 散斑 »
技术规格
CCS系列为标配和(*)仅适用于CCS PRIMA
|
零件号
|
|
CLMG-142-N1
|
CLMG-121-N1
|
CLMG-114-N1
|
CLMG-221-N2
|
CLMG-214-N2
|
CLMG-270-N2
|
CLMG-314-N2
|
CLMG-370-N2
|
|
型号
|
unit
|
CL1-MG420
|
CL1-MG210
|
CL1-MG140
|
CL2-MG210
|
CL2-MG140
|
CL2-MG70
|
CL3-MG140
|
CL3-MG70
|
|
测量范围
|
µm
|
150
|
150
|
150
|
400
|
400
|
400
|
1400*
|
1400*
|
|
工作距离
|
mm
|
3,3
|
3,3
|
3,3
|
10,8
|
10,8
|
10,8
|
12,2
|
12,2
|
|
数值孔径
|
|
0,71
|
0,71
|
0,71
|
0,46
|
0,46
|
0,46
|
0,41
|
0,41
|
|
最大样本斜率
|
°
|
42
|
42
|
42
|
28
|
28
|
28
|
25
|
25
|
|
防护窗
|
|
No
|
no
|
no
|
yes
|
yes
|
yes
|
yes
|
yes
|
|
轴向版
|
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
|
90°径向版
|
|
option
|
option
|
option
|
option
|
option
|
option
|
option
|
option
|
|
光斑尺寸
|
µm
|
1,8
|
2,7
|
3,5
|
4
|
5,2
|
8,8
|
6,8
|
11,9
|
|
横向分辨率
|
µm
|
0,8
|
1,1
|
1,3
|
1,7
|
1,8
|
3,7
|
2,6
|
4,5
|
|
光度效率
|
|
0,7
|
3,3
|
10
|
2,8
|
7,9
|
41
|
10
|
57
|
|
静态噪声
|
nm
|
6
|
7
|
8
|
17
|
20
|
25
|
50
|
60
|
|
轴向分辨率
|
µm
|
0,036
|
0,042
|
0,048
|
0,102
|
0,12
|
0,15
|
0,3
|
0,36
|
|
最大线性误差
|
nm
|
25
|
25
|
20
|
55
|
50
|
45
|
150
|
130
|
|
最小可测厚度
|
µm
|
5
|
7,5
|
9
|
14
|
14
|
22
|
38
|
40
|
|
长度
|
mm
|
270
|
243,8
|
209,4
|
243,3
|
208,9
|
176,1
|
208,9
|
176,1
|
|
直径
|
mm
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
|
重量
|
g
|
310
|
268
|
195
|
248
|
190
|
189
|
215
|
214
|
|
零件号
|
|
CLMG-435-N1
|
CLMG-420-N1
|
CLMG-535-N1
|
CLMG-520-N1
|
CLMG-635-N1
|
CLMG-620-N1
|
|
型号
|
unit
|
CL4-MG35
|
CL4-MG20
|
CL5-MG35
|
CL5-MG20
|
CL6-MG35
|
CL6-MG20
|
|
测量范围
|
µm
|
4000
|
4000
|
12000
|
12000
|
24000
|
24000
|
|
工作距离
|
mm
|
16,5
|
16,5
|
26,6
|
26,6
|
20
|
20
|
|
数值孔径
|
|
0,32
|
0,32
|
0,2
|
0,2
|
0,12
|
0,12
|
|
最大样本斜率
|
°
|
21
|
21
|
14
|
14
|
8,5
|
8,5
|
|
防护窗
|
|
Yes
|
yes
|
yes
|
yes
|
no
|
no
|
|
轴向版
|
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
|
90°径向版
|
|
option
|
option
|
option
|
option
|
option
|
option
|
|
光斑尺寸
|
µm
|
12,3
|
19,9
|
24,3
|
40
|
26,8
|
43
|
|
横向分辨率
|
µm
|
4,6
|
7
|
11
|
14
|
11
|
18
|
|
光度效率
|
|
25
|
91
|
33
|
100
|
9,8
|
43
|
|
静态噪声
|
nm
|
110
|
135
|
370
|
425
|
750
|
800
|
|
轴向分辨率
|
µm
|
0,66
|
0,81
|
2,22
|
2,55
|
4,5
|
4,8
|
|
最大线性误差
|
nm
|
300
|
250
|
750
|
550
|
1600
|
1200
|
|
最小可测厚度
|
µm
|
110
|
120
|
350
|
550
|
590
|
725
|
|
长度
|
mm
|
145,4
|
130
|
145,4
|
130
|
171
|
155,6
|
|
直径
|
mm
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
|
重量
|
g
|
155
|
140
|
175
|
160
|
195
|
180
|
应用
CL-MG点光谱测头采用光谱共焦测量原理，广泛用于许多行业的大量测量应用：
- 非接触式表面粗糙度测量：ISO25178-602标准
- 在透明表面上测量厚度，例如玻璃、塑料
- 汽车玻璃
- 玻璃容器和包装行业
- 电子行业（PCB）
- 半导体行业（硅晶片）
- 测量点对点、透明和非透明薄膜的应用（例如，电动车动力电池盖）
- 3C行业
- 电动车行业（动力电池）
- 机器人
- 精密机械
- 医疗器械和微流控
- 航空
- 制表
版本
CL-MG点光谱测头型号多达6款：测量范围从150 µm至24 mm
CL-MG点光谱测头的配套控制器多达6款
可根据特定应用，例如真空版或高温版，定制每一款CL-MG点光谱测头
CL-MG点光谱测头兼容马波斯STIL的每一款点光谱控制器，包括ZENITH、CCS系列、IRIX、LIGHTMASTER，光纤连接控制器
