微型点光谱传感器测头的非接触式测量

ENDO SERIES

STIL推出ENDO系列点光谱传感器测头，这是光谱共焦的全新产品线，外形极其小巧。亮点包括4 mm的机械直径，直线或90°径向出光，ENDO系列点光谱传感器可在空间有限的应用中进行非接触式测量。

这些微型ENDO系列点光谱传感器测头特别适用于测量小直径孔或型腔。

由于外形尺寸小巧，易于集成在量产线上的检测设备上。

结合任意一款STIL光电控制器，ENDO系列点光谱传感器可进行精密测量且分辨率可达亚微米级。

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描述

专用于空间有限的应用，ENDO系列点光谱传感器轻便且易于集成，机械直径小于8mm。

ENDO系列点光谱传感器可轻松进入狭小空间，可为直线或90°径向出光，可测量距离、采集3D形状、轮廓和直径。

ENDO点光谱传感器测头通常成组使用，可测量圆度、平面度和检测缺陷。

ENDO系列点光谱传感器采用无源器件，设计坚固同时有较强的可靠性，可配合马波斯STIL各款控制器使用，包括ZENITH、CCS系列、LIGHTMASTER或IRIX。

优势

重量轻：3.5 g以上
小直径：4mm；6mm；8mm
易于集成在机械臂上
轴向或径向出光
专用于工业环境，不受环境光影响
精度：微米级
高信噪比
适用各种表面
支持不同类型样本
同轴：无阴影效应

技术规格

CCS系列

零件号		PHI4-100-N2	PHI6-100-N1	PHI6-200-N1	E603-100-N2	PHI6-250-N1	PHI6-270-N2
型号	单位	ENDO 1/D4-R	ENDO 0.3/D6	ENDO 0.3/D6-R	ENDO 1,2/D6	ENDO 1.5/D6-R	ENDO 2/D6
测量范围	µm	1000	300	300	1200	1500	2000
工作距离	mm	1	1,3	0,9	2,3	0,9	5,2
数值孔径		0,16	0,42	0,3	0,22	0,19	0,18
最大采样斜率	°	7,5	21	15	13	10	10
轴向或径向出光		radial	axial	radial	axial	radial	axial
光斑尺寸	µm	13,2	6,4	5	15	19,5	16,5
横向分辨率	µm	6,5	3,8	2,5	7,5	10	8,5
光度效率		10	19	4	46	27	24
静态噪声	nm	100	25	40	160	160	180
轴向分辨率	µm	0,6	0,15	0,24	0,96	0,96	1,08
最大线性误差	nm	200	50	80	200	200	220
最小可测厚度	µm	300	20	50	140	200	180
长度	mm	64	70	87,3	75,2	87,3	82,2
直径	mm	4	6	6	6	6	6
重量	g	3,5	12	13	10	13	12

零件号		PHI8-200-N2	PHI8-600-N1	PHI8-800-N1	PHI8-850-N1
型号	unit	ENDO 0.2/D8	ENDO 1.2/D8	ENDO 10/D8	ENDO 10/D8-R
测量范围	µm	220	1200	10000	10000
工作距离	mm	4,8	3,5	11,3	8,4
数值孔径		0,39	0,36	0,1	0,1
最大采样斜率	°	21,5	19,5	4,5	4,5
轴向或径向出光		axial	axial	axial	radial
光斑尺寸	µm	4,6	6,8	31	31
横向分辨率	m	2,5	3,4	17	17
光度效率		17	19	36	24
静态噪声	nm	25	60	600	600
轴向分辨率	µm	0,15	0,36	3,6	3,6
最大线性误差	nm	50	80	800	800
最小可测厚度	µm	25	60	500	500
长度	mm	102	74	102	108,7
直径	mm	8	8	8	8
重量	g	20	16	23	23

应用

CCS光谱控制器以光谱共焦为测量原理，支持许多行业的不同测量应用：

自动对焦
非接触式表面粗糙度测量：ISO25178-602标准
在透明表面上测量厚度，例如玻璃、塑料
汽车玻璃
玻璃容器和包装行业
电子行业（PCB）
半导体行业（硅晶片）
测量点对点、透明和非透明薄膜的应用（例如，电动车动力电池盖）
3C行业
电动车行业（动力电池）
电动车行业（动力电池）
精密机械
医疗器械和微流控
航空
腕表

版本

ENDO系列点光谱传感器可选3种以上标准直径。4mm；6mm；8mm

轴向或径向出光

测量范围和光学设计可根据不同的应用要求进行调整

ENDO点光谱传感器测头都支持马波斯STIL ChromaPoint控制器，例如ZENITH、CCS系列、IRIXTM、LIGHTMASTER

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BROCHURES AND MANUALS

	产品资料	数据表
英语	STIL - General catalogue: (30.56MB)	ENDO 0.2/D8: (875.43kB) ENDO 1.2/D6: (918.55kB) ENDO 1.2/D8: (917.94kB) ENDO 1.5/D6-R: (896.65kB) ENDO 1/D4-R: (900.21kB) ENDO 10/D8 & ENDO 10/D8-R: (1.12MB) ENDO SERIES: (776.26kB) ENDO 10/D8-LT: (911.47kB) ENDO 10/D8-L: (909.43kB)
日本语	STIL - General catalogue: (21.22MB)	-
中文 (Simplified Chinese)	STIL - General catalogue: (27.41MB)	-

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