Marposs는 반도체, 3C(컴퓨터, 통신, 가전제품) 및 나노미터 수준의 정밀도가 요구되는 까다로운 산업 분야의 초정밀 측정 어플리케이션을 위해 설계된 간섭계 센서 전용 컨트롤러 Horizon을 소개합니다.
Horizon은 간섭계 기반으로 나노미터 수준의 분해능을 제공하고, 우수한 반복성 및 정밀도를 보장합니다. 기계적 접촉을 제거하여 드리프트와 마모를 최소화하여 웨이퍼 검사 및 평면도 측정, 리소그래피 마스크 얼라이먼트 및 초소형 전자 부품 테스트에 이상적인 솔루션을 제공합니다.
Horizon 제품군은 폭넓은 파장의 센서를 지원하여 다양한 재질, 표면 마감 및 환경 제약에 최대한 적응할 수 있는 유연성을 제공합니다. 다양한 센서와의 호환성 덕분에 어플리케이션에 특화된 설정이 가능하며, 최적화된 안정성을 유지합니다.
고급 산업용 애플리케이션을 위해 설계된 Horizon은 가장 엄격한 정밀도 및 신뢰성 표준을 충족합니다. 마이크로 제조 공정에 필수적인 나노미터 분해능을 제공하며 제어 및 생산 환경에서 안정적인 작동을 보장하는 견고한 설계를 특징으로 합니다. 가공 중과 가공 후 측정 모두를 지원하며 산업 측정 요구 사항을 완벽하게 준수합니다.
Horizon은 아날로그 및 디지털 I/O를 통한 다양한 신호 출력 형식, Fieldbus를 통한 실시간 데이터 전송, 고속 통신 인터페이스 및 다중 엔코더 동기화를 통해 자동화 시스템에 완벽하게 통합됩니다. 마스터-슬레이브 네트워크 아키텍처를 통하여 여러 장치의 동기화가 가능하여 측정 개소가 많은 까다로운 어플리케이션에도 적용 가능합니다.
피측정물의 다양한 재질과 기하 공차 측정을 위한 고급 파라미터 설정이 가능한 MIC, OEM의 측정 및 자동화 시스템에 손쉽게 통합하기 위한 SDK, 특정 산업별 전용 옵션이 제공되는 통계적 공정 관리 소프트웨어 Windows® Marposs Quick SPC™등, 폭넓은 소프트웨어 제품군이 Horizon 경험을 향상시킵니다.
Horizon은 엄격한 공정 관리, 불량품 감소 및 품질 보증이 중요한 정밀 측정 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 특히 웨이퍼 정렬, 에칭 깊이 측정 및 결함 검사와 같은 반도체 제조 공정과 3C 산업에서 구조적 무결성 분석 및 부품 테스트에 적합합니다.
Marposs는 Horizon을 통하여 차세대 제조 산업의 요구 사항을 충족하는 정밀도와 속도 그리고 견고함을 모두 갖춘 업계 선도적인 솔루션을 제공합니다.