氦气-真空检测

拟议系统有一个单真空腔，可手动开关，位于电焊与上漆的钢架上，采用可拆卸板覆盖。真空腔的打开方向朝上，向侧面水平滑动盖子：这样上覆盖空间仍能允许机器人自由自动装卸零件。可从两个侧面接近通道：从受光学屏障保护的前面，进行手动装载/卸载，同时可以从后面进行自动转载/卸载。将泵定位在真空腔下面，以便真空腔抽空、分析与部件撤离。在钢架的一侧放置了一个机柜，机柜中呈列着电气板、分析系统以及工艺气体管理与分配阀。人机界面是由一个触屏彩色监视器和两个遥控箱（每个腔一个）构成，带有操作员可用的按钮与光信号。提供了单独进出口，以便适合将机器连接到氦气回收系统。