非接触式缺陷检测

视觉系统具有双重作用：一是提供样品表面的高质量图像并实现所需的放大倍率；二是对图像进行处理，以检测和分析预定义的特征或纹理。
随着处理单元的性能不断提升，当前视觉系统的基本局限性在于其极小的景深（取决于数值孔径，通常仅为几十微米或更小）。由于这一局限性，观察具有较大Z向延伸或需要移动的样本时，必须采用昂贵且复杂的Z向扫描系统和/或自动对焦机制。

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光谱共焦显微成像技术的光路设计可实现更大景深（可达数毫米）。只要样本在大景深范围内的任何位置，都可清晰成像，图像质量高，聚焦准确。

此技术结合了颜色编码和传统共焦显微镜的优势。光谱共焦显微镜由一个多色光源照明的狭缝，一个高质量彩色透镜、一个光束分离器和一个4K线阵相机组成。

优势

大景深（DOF）：以毫米为单位的景深，而非显微镜常用的微米级景深
无需或只需少量对焦
可聚焦在玻璃和镜面上
分辨率（X-Y），样本上的像素尺寸≥0.43 µm*0.43µm
高速，可达199.5千线/秒
适用于各种材质：金属（抛光或粗糙表面），玻璃，陶瓷，塑料等 …

技术规格

产品		MC2 NanoView	MC2 WireView	MC2 MicroView	MC2 DeepView mk2	MC2 SuperView
订货号		OPSTM702002	OPSTM708002	OPSTM704002	OPSTM706002	OPSTM709002
线长	mm	1,34	1,51	1,8	4,2	12,85
景深	µm	120	900	500	2600	2000
工作距离	mm	7,4	7,8	10,1	19,5	11,3
放大率		17,3	15,6	12,9	5,6	1,8
数值孔径		0,75	0,75	0,5	0,37	0,33
最大样本斜率	°	43	46	30	20	17
样本像素尺寸	µm	0,43	0,49	0,58	1,35	4,1
光学零件：长度	mm	421,6	468	412,8	400,5	370
光学零件：直径	mm	50	70	50	60	60
光学零件：重量	g	5300	5800	5200	5850	5600

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英语	STIL - General catalogue: (30.56MB)
日本语	STIL - General catalogue: (21.22MB)
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产品

MC2 SERIES - Chromaline 相机非接触式测量

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