半導体製造用工作機械のモニタリング

マーポスセンサーは、インゴット切断機のダイヤモンドワイヤーの断線の検出、研削盤のホイールドレッシングの監視、ラップ加工中の振動チェックなどに使用できます。マーポスのシステムは、製造工程の分析、保護、最適化のタスクを担います。

また、ベアリング損傷の早期検出は、機械と主軸の振動抑制、その結果生じるコストの削減、そして品質改善のために必須の要素です。これは、センサー信号（振動、温度、およびオプションの重力）を正確に評価することによって達成できます。アラームの限界値は個別に設置できます。もしこの限界値を超えたり下回ったりした場合は、あらかじめ定義した対応が速やかに行われます。