技术 - 泄漏测试：质谱分析法(示踪气体)

氦气泄漏检测系统的重点是对客户的部件进行整体泄漏测试，并检测 5.0 x 10-3 mbar*L/s ～ 5.0 x 10-8 mbar*L/s范围内的泄漏。系统通过真空室下的整体测试技术自动验证部件的紧密度。在测试期间，将部件放置在真空室内，然后将部件和真空室都抽空至测试所需的值。然后用探漏气体对部件加压。利用质谱仪泄漏检测器允许系统检测由所有被测部件的泄漏引起的总流量。从该过程中获得最终的定量测量值。整体泄漏测试之后是主要测试，目的是降低在出现严重泄漏的情况下，使用大量氦气污染真空室的风险。

质谱仪如何工作？

为简化起见，质谱仪将氦质量的测量值转换为电信号。为此，进入质谱仪的空气被电离并被引导到浸入磁场中的弯曲管中。对于给定的磁场值，仅氦离子通过，而其他氦离子被破坏。对氦离子流产生的电流进行测量，以量化泄漏。

为何选择氦气？

• 氦是氢之后的第二轻元素：它可以迅速渗透到10-11 mbar * L / s的小泄漏中，而较重的元素则不能。
• 它是一种惰性气体：它是惰性的，不会与其他气体或被测试的部件发生反应。
• 氦是环保的：无色，无异臭，无味，无毒，并且分散到环境中不会引起任何问题。
• 它仅少量（5 ppm）存在于大气中，因此泄漏检测仪器的背景噪音非常低，它能进行高度“质谱分析”，并与其他气体分离。
• 氦气也可以在回收系统中进行回收，使客户降低了缺货的风险，并减少需要购买的氦气量。

氦泄漏检测系统的一般描述

各个氦气泄漏检测系统均能提供：

• 一个或多个带有手动或自动盖的真空室；安装在焊接的涂钢框架上，进入真空室通常需要安全光幕的保护。
• 测试夹具将被测部件连接到系统的过程电路。
• 真空泵需在真空状态下保存在真空室中，部件也需处于真空状态并进行分析。
• 一个或多个泄漏检测器（质谱仪）。
• 电动和气动面板。
• 工业个人电脑，配有15“触摸彩色显示器，可执行HMI功能，而PLC则提供过程监控。
• 供应还包括适合于所需容量的氦回收系统。

氦泄漏检测可应用于各种工业领域，例如：

• 冷藏
• 空调
• 汽车
• 航天
• 灭火器
• 阀门
• 食品包装
• 药物
• 石化
• 能源
• 微电子