Berührungslose Dickenmessung

Das NCG Dickenmesssystem von Marposs arbeitet auf der Grundlage der Interferometrie: Lichtwellen, die an den Schichtgrenzen unterschiedlicher Oberflächen des zu messenden Objekts reflektieren, werden in Überlagerung gebracht und anschließend wird die Schichtdicke berechnet. Das Messsystem wurde zur Dickenkontrolle verschiedener Werkstücktypen aus Glas, Kunststoff und von Silikon-Wafern entwickelt. Die Infrarot-Lichtquelle misst sogar Werkstücke aus lichtundurchlässigem Material.

Unsere Messsysteme dienen der Verbesserung und Einhaltung von Zykluszeiten und der Qualität des Endprodukts, sowie zur Prozesskontrolle vor, während oder nach entscheidenden Fertigungsschritten.

Das Marposs NCG verarbeitet Messdaten extrem schnell und kann an allen möglichen Maschinen die Werkstückdicke im Nu präzise kontrollieren. Der Einsatz kann auf einer Vorrichtung oder in einer Maschine in trockenen oder nassen Maschinenumgebungen in den Grenzen gemäß den technischen Daten erfolgen.

Die Marposs-Sensoren NCG, IRIX und STIL (http://www.stilsa.com/) decken eine große Bandbreite an Anwendungen ab, angefangen bei der Messung der Dicke und der Dickenvariation (TTV) über diejenige der Biegung und Verwölbung (bow & warp) bis hin zu vollständigen 2D-Abbildungen und 3D-Topographien.